中科仪：拟实施集成电路干式真空泵扩产项目

1 小时前

10月20日消息，中科仪发布公告称，公司拟在现有的“干式真空泵产业化建设项目”与“高端半导体设备扩产项目”基础上，推进集成电路干式真空泵扩产项目。该项目资金通过自筹解决，总投资额达42313.48万元。其中，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司及其上海分公司将投资19144.70万元，由前者作为实施主体；中科仪（南通）半导体设备有限责任公司则投资23168.78万元，并作为其实施主体。