蔡司CEO：缺少EUV光刻机中国商业芯片崛起的神话难以为继

5 小时前

德国光学巨头蔡司首席执行官弗兰克·罗姆蒙德称，因美国对华出口管制，中国无法获取荷兰阿斯麦的尖端极紫外光刻机，中国半导体产业商业化将遇巨大阻碍。他表示，长远看，依赖深紫外光刻机配合多重曝光的替代方案，在良率和成本上均不可行。然而，中国半导体设备国产化率已突破35%，在28nm及以上成熟制程领域几乎全覆盖，部分关键环节国产化率超80%。